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飛行時間二次離子質譜儀的知識要點•✘,一看便知

釋出時間▩│·↟:2020-10-31瀏覽▩│·↟:860次

       飛行時間二次離子質譜儀作為一種檢測材料的儀器☁•。它是採用質譜技術分析表面原子層以確定表面元素組成和分子結構☁•。其特點是高靈敏度和高解析度☁•。

  飛行時間二次離子質譜儀的基本結構▩│·↟:
  二次離子質譜儀視其應用之不同而有各種不同的型式•✘,其基本構造可分為下列四大部分▩│·↟:
  (1)照射激發用的一次離子束的離子槍;
  (2)以能量選擇由試品產生的二次離子能量過濾器;
  (3)進行質量選擇的質譜儀;
  (4)放大✘╃╃、檢測經質量選擇後的二次離子檢測輸出訊號☁•。
  飛行時間二次離子質譜儀的原理▩│·↟:
  1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩定的轟擊•✘,一次離子可能受到樣品表面的背散射•✘,也有部分進入樣品表面•✘,這部分離子把能量傳遞給晶格•✘,當入射能量大於晶格對原子的束縛能是•✘,部分原子脫離晶格向表面運動•✘,並且產生原子間的級聯碰撞•✘,當這一能量傳遞到表面•✘,並且大於表面的束縛能時•✘,促使表面原子脫離樣品•✘,謂之濺射;
  2.上述一次離子引發的濺射大部分為中性原子或分子•✘,也有少量荷電集團•✘,包括帶電離子✘╃╃、分子✘╃╃、原子團•✘,按照荷質比經過質譜分離;
  3.收集經過質譜分子的二次離子•✘,可以得知樣品表面和體內的元素組成和分佈☁•。
  飛行時間二次離子質譜儀的應用很廣•✘,偵測表面汙染✘╃╃、氧化✘╃╃、還原✘╃╃、吸附✘╃╃、腐蝕✘╃╃、觸媒效應✘╃╃、表面處理等動態分析之表面研究工作•✘,尤其可作微量元素分佈•✘,因此在材料✘╃╃、化學✘╃╃、物理✘╃╃、冶金及電子方面之發展•✘,使用者很多☁•。該產品不但可作表面及整體之分析•✘,又可直接作影像觀察•✘,其靈敏度及解析能力甚高•✘,由較小的氫至原子量很大的元素均可偵測•✘,尤其對於同位素的分析更是有效☁•。

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