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萬萬沒想到₪✘,飛行時間二次離子質譜儀竟有這樣的優勢•₪!

釋出時間◕·:2020-12-07瀏覽◕·:1074次

  飛行時間二次離子質譜儀是一種既能測試有機物₪✘,又能測試無機物的一種檢測儀器₪✘,使用一次的離子源(Ga,Cs, O2, etc)轟擊樣品₪✘,產生二次離子₪✘,激發的二次離子被引入一個無場區(drift tube),自由飛行₪✘,飛行時間的長短₪✘,與離子的mass-to-charge ratio的二分之一此方成正比;也就是說₪✘,質量數越小的離子飛得越快₪✘,到達檢測器的時間越短₪✘,反之₪✘,質量數越大的離子飛得越慢₪✘,到達檢測器的時間越長₪✘,這樣就可以實現質譜的分離☁↟₪。
 
  飛行時間二次離子質譜儀的技術優勢◕·:
 
  1. 優異的摻雜劑和雜質檢測靈敏度☁↟₪。可以檢測到ppm或更低的濃度
 
  2. 深度剖析具有良好的檢測限制和深度辨析率
 
  3. 小面積分析(10 µm 或更大)
 
  4. 檢測包含H在內的元素及同位素
 
  5. 優良的動態範圍(6 orders of magnitude)
 
  6. 在某些應用中可能用來做化學計量/組成成份
 
  飛行時間二次離子質譜儀的主要用途◕·:
 
  1. 摻雜劑與雜質的深度剖析
 
  2. 薄膜的成份及雜質測定 (金屬₪✘·◕、電介質₪✘·◕、鍺化矽 ₪✘·◕、III-V族₪✘·◕、II-V族)
 
  3. 超薄薄膜₪✘·◕、淺植入的較高深度辨析率剖析
 
  4. 矽材料整體分析₪✘,包含B, C, O,以及N
 
  5. 工藝工具(離子植入)的高精度分析

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