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二次離子質譜儀在很多領域有著重要意義
釋出時間·◕₪•:2022-06-06瀏覽·◕₪•:138次
二次離子質譜儀是透過高能量的一次離子束轟擊樣品表面☁☁,使樣品表面的原子或原子團吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子☁☁,這些帶電粒子經過質量分析器後就可以得到關於樣品表面資訊的圖譜╃•。
透過質譜圖可以用來獲取樣品表面的分子☁↟╃₪◕、元素及同位素的資訊☁☁,可以探測化學元素或化合物在樣品表面和內部的分佈☁☁,也可以用於生物組織和細胞表面或內部化學成分的成像分析☁☁,配合樣品表面掃描和剝離(濺射剝離速度可以達到10微米/小時)☁☁,還可以得到樣品表層或內部化學成分的三維影象╃•。
透過二次離子質譜的深度剖析來分析材料薄膜結構是一種*的分析手段☁☁,尤其是對於分析不同薄層中的材料☁☁,以及相鄰兩層之間材料的相互影響╃•。分析亞微米尺度下的特徵☁↟╃₪◕、缺陷或者汙染☁☁,對於諸多工業應用領域具有至關重要的影響☁☁,比如·◕₪•:半導體器件加工☁☁,硬碟磁頭加工☁☁,特殊反射面☁☁,複合材料等等╃•。
此外☁☁,利用二次粒子質譜還是科技前沿問題的本質探索的有力工具☁☁,例如在生命科學領域可對單細胞視覺化分析☁☁,可以得到藥物在細胞內的吸收☁↟╃₪◕、分佈☁↟╃₪◕、代謝等資訊☁☁,還可以研究藥物在組織或者細胞中的定位☁☁,對於提高藥物的靶向性以及合理設計藥物具有重要意義╃•。