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利用飛行時間二次離子質譜儀可以做到的多種分析

更新時間↟▩✘:2023-01-31瀏覽↟▩✘:203次

   飛行時間二次離子質譜儀在表面分析中具有很高的靈敏度◕₪•│。該方法利用一次離子激發樣品表面微量二次離子☁₪◕✘,並根據二次離子飛向探測器的時間長短來確定離子質量◕₪•│。由於離子在TOF-SIMS中的飛行時間只與質量有關☁₪◕✘,所以它一次脈衝就可以得到全譜☁₪◕✘,離子利用率高☁₪◕✘,可以實現樣品的靜態分析◕₪•│。

 
  二次離子質譜儀的飛行時間只取決於離子的質量◕₪•│。由於它一次脈衝可以得到全譜☁₪◕✘,離子利用率最高☁₪◕✘,可以實現樣品幾乎無損的靜態分析◕₪•│。
 
  1✘☁│、有機質表面表徵☁₪◕✘,能分析元素的面分布☁₪◕✘,解析度在5-10nm之間◕₪•│。
 
  2✘☁│、鑑別金屬☁₪◕✘,玻璃☁₪◕✘,陶瓷☁₪◕✘,薄膜或粉末表面的有機物層或無機層☁₪◕✘,能夠分析有機物並直接輸出分子式◕₪•│。
 
  3✘☁│、極小面積分析☁₪◕✘,最小區域直徑為80奈米◕₪•│。
 
  4✘☁│、深度解析度良好(0.1-1奈米)☁₪◕✘,但是濺射速率非常慢(小於1μm/H)◕₪•│。
 
  5✘☁│、可以提供樣品的三維影象資訊◕₪•│。
 
  6✘☁│、同位素丰度分析(英文).
 
  7✘☁│、採用TOF-SIMS技術對產品表面膜層成分進行定性分析☁₪◕✘,採用TOF-SIMS技術對膜層成分進行定性分析◕₪•│。
 
  8✘☁│、當膜層和基材的截面出現了分層現象☁₪◕✘,但沒有發現明顯的雜質痕跡時☁₪◕✘,可以使用TOF-SIMS進行表面微量物質成分分析☁₪◕✘,以確定是否存在外來汙染☁₪◕✘,檢出限為ppm◕₪•│。

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