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活潑性/腐蝕性氣體分析儀

簡要描述✘₪:HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專為活潑性•☁₪₪、腐蝕性氣體分析和半導體•☁₪₪、真空過程研究而設計的儀器▩✘╃₪│。可快速•☁₪₪、定量分析活潑性•☁₪₪、腐蝕性氣體混合物▩✘╃₪│。

  • 產品型號✘₪:HPR-80
  • 廠商性質✘₪:代理商
  • 更新時間✘₪:2023-03-13
  • 訪  問  量✘₪:2240
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詳細介紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域綜合

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用✘₪:


• 等離子體/反應性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導體晶片加工研究
• 真空•☁₪₪、等離子體過程
• 活性物質定量分析
• HF•╃☁▩₪,HCl•╃☁▩₪,HBr•╃☁▩₪,CFC 研究

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點✘₪:


• 加熱的電拋光波紋管•╃☁▩₪,快速偶合連結器
• 可清除的•╃☁▩₪,帶粘性流QIC校正的進樣口用於定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質量數為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計•╃☁▩₪,壓力檢測可不受分析物影響
• 穩定性好 (24h之上•╃☁▩₪,小於峰高±0.5% )
• 軟體 MASsoft 控制
• 矩陣反演•╃☁▩₪,歸一化及單峰參考

 

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