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過程氣體分析儀

簡要描述✘₪：HPR-30過程氣體分析儀（Process Gas Analyser）│╃✘✘，適用於監測分析殘餘氣體和真空過程•◕╃₪。可檢測反應室記憶體在的所有成分│╃✘✘，以及系統析出的新組分•◕╃₪。

產品型號✘₪：HPR-30
廠商性質✘₪：代理商
更新時間✘₪：2023-03-13
訪問量✘₪：2042

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線上氣體分析

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詳細介紹

品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	綜合

HPR-30過程氣體分析儀應用✘₪：

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空塗覆/ 等離子蝕刻
· 濺射沉積
· 汙染物研究
· 基本壓力辨別
· 洩漏探測/ 實質上的洩漏/脫附分析
· 除氣/烘烤/泵效能
· 反應室/過程氣體汙染物

HPR-30過程氣體分析儀特點✘₪：

· 簡潔的桌上型│╃✘✘，移動推車或控制檯架結構
· Direct re-entrant流孔板│╃✘✘，差式泵│╃✘✘，以達到z適宜的靈敏度
· 連續取樣從1mbar至 10-4mbar.
· 高靈敏度（至5ppb）│╃✘✘，質量數至1000amu
· 軟離子化技術│╃✘✘，分析複雜有機物│╃✘✘，或表觀MS研究
· 穩定性好(24h之上│╃✘✘，峰高變化小於±0.5%)
· MASsoft軟體控制│╃✘✘，或由區域網進行多個系統控制
· 氣動閥自動控制；出現電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
· 自動◕·、同時資料取得◕·、分析│╃✘✘，實時顯示◕·、報警•◕╃₪。

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