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等離子體診斷

簡要描述▩↟│▩:ESPion高階朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速✘▩•↟↟、可靠✘▩•↟↟、準確地進行等離子體診斷•╃▩↟╃,是先進可靠的Langmuir探針·☁•。

  • 產品型號▩↟│▩:ESPion
  • 廠商性質▩↟│▩:代理商
  • 更新時間▩↟│▩:2021-09-03
  • 訪  問  量▩↟│▩:1078
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品牌自營品牌應用領域能源,電子

ESPion高階朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速✘▩•↟↟、可靠✘▩•↟↟、準確地進行等離子體診斷•╃▩↟╃,是先進可靠的Langmuir探針·☁•。

·Hiden在被動射頻補償方面處於*地位•╃▩↟╃,在所有的商業化探針中 ESPion具有高的遮蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 參考探針補償用於抵制較低頻率影響•╃▩↟╃,例如等離子體電位漂移(如•╃▩↟╃,反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如•╃▩↟╃,供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈•╃▩↟╃,使用者可調諧至其他頻率 

 

·獲得資料速度▩↟│▩:     15scans/s•╃▩↟╃,

·透過D-O-E-介面可以自動/半自動/手動分析
·300✘▩•↟↟、600✘▩•↟↟、915mm 自動線性驅動器可選•╃▩↟╃,互鎖隔離閥•╃▩↟╃,

·90°探針•╃▩↟╃,組合式線性-旋轉驅動器可選
·ESPion 是所有商業化探針中速的脈衝等離子體探針•╃▩↟╃,

·ESPsoft 包括所有必需的標準脈衝選通電路

·自清洗迴圈•╃▩↟╃,防止探針汙染
· 經由RS232✘▩•↟↟、RS485✘▩•↟↟、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟體控制

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