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腐蝕性氣體分析質譜儀

簡要描述✘·◕↟│：腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性╃•╃◕•、腐蝕性氣體分析和半導體╃•╃◕•、真空過程研究而設計的儀器◕◕││↟，快速╃•╃◕•、定量分析活潑性╃•╃◕•、腐蝕性氣體◕◕││↟，如反應中間產物◕◕││↟，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體╃↟✘·。

  • 產品型號✘·◕↟│：HPR-80
  • 廠商性質✘·◕↟│：代理商
  • 更新時間✘·◕↟│：2023-05-26
  • 訪  問  量✘·◕↟│：3319
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詳細介紹
品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
檢測限5ppb質量數範圍510amu
價格區間100萬-150萬產地類別進口
應用領域化工,電子,冶金,航天,電氣

20年前◕◕││↟，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜誌釋出了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀◕◕││↟，初期主要應用於半導體行業的特氣檢測◕◕││↟，如毒性氣體AsH3╃•╃◕•、B2H6╃•╃◕•、PH3等◕◕││↟，強腐蝕性氣體如如HCI╃•╃◕•、HF╃•╃◕•、CIF3等◕◕││↟，強氧化性氣體如CIF3╃•╃◕•、NF3等╃↟✘·。

​20年來◕◕││↟，Hiden在這一細分領域具有強大的產品力◕◕││↟，針對不同程度的腐蝕氣體分析◕◕││↟，提供不同的解決方案╃↟✘·。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用於分析腐蝕性氣體◕◕││↟，HF◕◕││↟，HCl◕◕││↟，HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物╃↟✘·。​

主要特點✘·◕↟│：

1╃•╃◕•、連線件電拋光工藝處理
2╃•╃◕•、取樣壓力✘·◕↟│： 1mTorr to 1000Torr
3╃•╃◕•、高靈敏度三級過濾四極杆
4╃•╃◕•、檢測限可達 5 ppb
5╃•╃◕•、QGA專業版定量分析軟體
 
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