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腐蝕性氣體分析質譜儀

簡要描述✘·◕↟│:腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性╃•╃◕•、腐蝕性氣體分析和半導體╃•╃◕•、真空過程研究而設計的儀器◕◕││↟,快速╃•╃◕•、定量分析活潑性╃•╃◕•、腐蝕性氣體◕◕││↟,如反應中間產物◕◕││↟,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體╃↟✘·。

  • 產品型號✘·◕↟│:HPR-80
  • 廠商性質✘·◕↟│:代理商
  • 更新時間✘·◕↟│:2023-05-26
  • 訪  問  量✘·◕↟│:3319
詳細介紹
品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
檢測限5ppb質量數範圍510amu
價格區間100萬-150萬產地類別進口
應用領域化工,電子,冶金,航天,電氣

20年前◕◕││↟,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜誌釋出了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀◕◕││↟,初期主要應用於半導體行業的特氣檢測◕◕││↟,如毒性氣體AsH3╃•╃◕•、B2H6╃•╃◕•、PH3等◕◕││↟,強腐蝕性氣體如如HCI╃•╃◕•、HF╃•╃◕•、CIF3等◕◕││↟,強氧化性氣體如CIF3╃•╃◕•、NF3等╃↟✘·。

​20年來◕◕││↟,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力◕◕││↟,針對不同程度的腐蝕氣體分析◕◕││↟,提供不同的解決方案╃↟✘·。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用於分析腐蝕性氣體◕◕││↟,HF◕◕││↟,HCl◕◕││↟,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物╃↟✘·。​

主要特點✘·◕↟│:

1╃•╃◕•、連線件電拋光工藝處理
2╃•╃◕•、取樣壓力✘·◕↟│: 1mTorr to 1000Torr
3╃•╃◕•、高靈敏度三級過濾四極杆
4╃•╃◕•、檢測限可達 5 ppb
5╃•╃◕•、QGA專業版定量分析軟體
 
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