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腐蝕性氣體分析質譜儀

簡要描述◕·╃│:腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性│▩▩☁、腐蝕性氣體分析和半導體│▩▩☁、真空過程研究而設計的儀器✘₪·,快速│▩▩☁、定量分析活潑性│▩▩☁、腐蝕性氣體✘₪·,如反應中間產物✘₪·,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體₪₪•。

  • 產品型號◕·╃│:HPR-80
  • 廠商性質◕·╃│:代理商
  • 更新時間◕·╃│:2022-11-08
  • 訪  問  量◕·╃│:1831
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詳細介紹
品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
檢測限5ppb質量數範圍510amu
價格區間100萬-150萬產地類別進口
應用領域化工,電子,冶金,航天,電氣

20年前✘₪·,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜誌釋出了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀✘₪·,初期主要應用於半導體行業的特氣檢測✘₪·,如毒性氣體AsH3│▩▩☁、B2H6│▩▩☁、PH3等✘₪·,強腐蝕性氣體如如HCI│▩▩☁、HF│▩▩☁、CIF3等✘₪·,強氧化性氣體如CIF3│▩▩☁、NF3等₪₪•。

​20年來✘₪·,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力✘₪·,針對不同程度的腐蝕氣體分析✘₪·,提供不同的解決方案₪₪•。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用於分析腐蝕性氣體✘₪·,HF✘₪·,HCl✘₪·,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物₪₪•。​

主要特點◕·╃│:

1│▩▩☁、連線件電拋光工藝處理
2│▩▩☁、取樣壓力◕·╃│: 1mTorr to 1000Torr
3│▩▩☁、高靈敏度三級過濾四極杆
4│▩▩☁、檢測限可達 5 ppb
5│▩▩☁、QGA專業版定量分析軟體
 
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