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腐蝕性氣體分析質譜儀

簡要描述☁☁:腐蝕性氣體分析質譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性│☁、腐蝕性氣體分析和半導體│☁、真空過程研究而設計的儀器▩╃,快速│☁、定量分析活潑性│☁、腐蝕性氣體▩╃,如反應中間產物▩╃,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體◕╃•☁。

  • 產品型號☁☁:HPR-80
  • 廠商性質☁☁:代理商
  • 更新時間☁☁:2022-02-14
  • 訪  問  量☁☁:1187
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詳細介紹
品牌其他品牌最小檢測分壓5E-14 mbar
檢測限5ppb質量數範圍510amu
價格區間100萬-150萬產地類別進口
應用領域化工,電子,冶金,航天,電氣

20年前▩╃,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜誌釋出了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀▩╃,初期主要應用於半導體行業的特氣檢測▩╃,如毒性氣體AsH3│☁、B2H6│☁、PH3等▩╃,強腐蝕性氣體如如HCI│☁、HF│☁、CIF3等▩╃,強氧化性氣體如CIF3│☁、NF3等◕╃•☁。

​20年來▩╃,Hiden在這一細分領域具有強大的產品力▩╃,針對不同程度的腐蝕氣體分析▩╃,提供不同的解決方案◕╃•☁。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用於分析腐蝕性氣體▩╃,HF▩╃,HCl▩╃,HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物◕╃•☁。​

主要特點☁☁:

1│☁、連線件電拋光工藝處理
2│☁、取樣壓力☁☁: 1mTorr to 1000Torr
3│☁、高靈敏度三級過濾四極杆
4│☁、檢測限可達 5 ppb
5│☁、QGA專業版定量分析軟體
 
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